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纳米定位台主要应用了什么测量原理?

发布时间:2019-09-16 13:22 来源:未知 编辑:admin

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  展开全部NM-X-5A尺寸小,毫秒级响应时间,应用在需要高可靠性和高输出的方面。轻质量、高刚度,而且可以用于极端高的带宽环境。

  电容传感器提供了高于纳米级的分辨率,实现在6微米内的闭环控制。柔性导轨使运动平滑,运动范围可减小到5微米。因为结合了数字闭环控制器,NM-X-5A可以实现高于纳米级的响应。

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